2025-12
01質(zhì)量流量控制器在配氣儀中的應(yīng)用
氣體質(zhì)量流量控制器是配氣儀中的核心部件,可提供精確、穩(wěn)定的氣體流量控制,讓氣體混合、稀釋更便捷。
易度MC100標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器采用層流壓差式原理,具有高可靠、高穩(wěn)定、高精度和高重復(fù)性的優(yōu)勢(shì),同時(shí)在抗過載能力和抗污染能力上表現(xiàn)優(yōu)越,助力配氣儀廠商實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的氣體濃度混合配比。

配氣儀的氣體配比通常為100:1等,常見的有兩路甚至更多,一般兩路為一路標(biāo)氣,一路稀釋氣體。要實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)配氣,需要流量控制器在各流量點(diǎn)控制氣體準(zhǔn)確度高,重復(fù)性好,同時(shí)對(duì)壓力波動(dòng)不敏感。

項(xiàng)目挑戰(zhàn)
挑戰(zhàn)1:配氣儀受前端壓力波動(dòng)影響大,影響流量穩(wěn)定性,要求流量控制器具有高穩(wěn)定性,減少壓力波動(dòng)影響。
挑戰(zhàn)2:要求流量控制器內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥流量為零時(shí),要處于常閉狀態(tài),閥門不漏氣,無流量。
挑戰(zhàn)3:配氣儀介質(zhì)用到腐蝕性氣體,造成流量控制器流道易堵塞,堵塞與流道管徑的粗細(xì)直接相關(guān)。
挑戰(zhàn)4:配氣儀控制氣體從低流量點(diǎn)切換到高流量點(diǎn)時(shí),受到瞬間大流量沖擊,抗過載能力弱會(huì)直接影響流量控制器的使用壽命。
解決方案
解決方案1:提高產(chǎn)品穩(wěn)定性。易度流量控制器內(nèi)置高精度壓力、溫度傳感器,可進(jìn)行溫度、壓力的實(shí)時(shí)補(bǔ)償,700ms的快速響應(yīng)時(shí)間,快速糾正、保持氣體控制的流速恒定,提供穩(wěn)定的氣體流量控制。
解決方案2:自主研發(fā)密封性強(qiáng)的比例調(diào)節(jié)閥,確保產(chǎn)品無漏氣。易度流量控制器內(nèi)置的比例調(diào)節(jié)閥系自主研發(fā),結(jié)構(gòu)緊湊,密封性好,不漏氣,無流量。
解決方案3:設(shè)計(jì)寬管徑的流道,抗污染能力強(qiáng)。易度流量控制器氣體流道為單通道設(shè)計(jì),流道管徑相對(duì)較粗,不易受到氣體的污染,造成堵塞。
解決方案4:提高壓差傳感器抗過載能力。易度流量控制器內(nèi)置的壓差傳感器,可承受50倍及以上的過載流量,抗過載能力強(qiáng),解決配氣儀低流量段瞬間過載問題。
MC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特征
| 產(chǎn)品原理 | 層流壓差式 |
| 產(chǎn)品精度 | ±1.0%設(shè)定值精度 |
| 產(chǎn)品重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
| 適用溫度 | -20℃~60℃ |
| 適用范圍 | 1Mpa |
| 通訊方式 | 模擬信號(hào)、數(shù)字信號(hào) |
| 軟件提供 | 上位機(jī) |