臨近18年尾聲，易度儀器收獲喜訊，其自主研發(fā)的通用型層流質(zhì)量流量計(jì)系列產(chǎn)品通過了國家計(jì)量最高檢測機(jī)構(gòu)——中國計(jì)量科學(xué)研究院的計(jì)量器具型式評價試驗(yàn)，獲得中國首個層流質(zhì)量流量計(jì)計(jì)量器具型式批準(zhǔn)資質(zhì)證書（簡稱CPA證書）。產(chǎn)品精度達(dá)到國家可批準(zhǔn)最高級別1.0級，重復(fù)性達(dá)到0.1%，響應(yīng)時間0.01S,多項(xiàng)技術(shù)參數(shù)指標(biāo)均屬于國際領(lǐng)先水平。

        一直以來，小微氣體、液體的流量精確測量和控制被西方發(fā)達(dá)國家技術(shù)壟斷，這項(xiàng)技術(shù)在眾多高端制造領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。易度儀器層流質(zhì)量流量計(jì)的研發(fā)和誕生，正是由公司博士、碩士組成的高素質(zhì)創(chuàng)業(yè)骨干，聯(lián)合國內(nèi)頂尖學(xué)府的專家學(xué)者等共同組成的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，面對國外技術(shù)封鎖，自2011年以來恪守流體測控領(lǐng)域，自主創(chuàng)新，不懈努力的結(jié)晶。

苦心孤詣：七年研發(fā)，挑戰(zhàn)世界水平

        2011年，這個以“80后”為主力軍的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開始向國外先進(jìn)技術(shù)發(fā)起挑戰(zhàn)，當(dāng)時國外進(jìn)口的設(shè)備獨(dú)步天下，相關(guān)技術(shù)也被西方發(fā)達(dá)國家所壟斷，國內(nèi)只有個別廠商可以生產(chǎn)一些模擬型產(chǎn)品，精度低，重復(fù)性差，根本談不上高精尖，只能配套于低端產(chǎn)業(yè)，由于缺乏核心傳感器技術(shù)，即便拆開了國外的設(shè)備，也會因不懂原理而難以突破。無數(shù)事實(shí)已表明：試圖通過仿制國外先進(jìn)產(chǎn)品的路線是走不通的。從研發(fā)一開始，易度團(tuán)隊(duì)就清醒地認(rèn)識到，高端精密儀器屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品，只有通過自主創(chuàng)新，遵循“概念論證”——“關(guān)鍵技術(shù)驗(yàn)證”——“方案驗(yàn)證”——“原理樣機(jī)”——“工程樣機(jī)”——“產(chǎn)品樣機(jī)”——“產(chǎn)品”的技術(shù)路線，才能真正掌握技術(shù)，研發(fā)出高精尖的產(chǎn)品。

        這一技術(shù)路線耗時之長、成本之高、風(fēng)險之大，與當(dāng)下浮躁的社會顯得格格不入。他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活，有家人的不理解，也有周圍人的嘲笑。當(dāng)時在微流量測量領(lǐng)域擺在研發(fā)團(tuán)隊(duì)面前的有兩條技術(shù)方向：一是以傳熱學(xué)原理為基礎(chǔ)的熱式質(zhì)量流量計(jì)，主要由歐美日的六七家公司占據(jù)全球絕大部分市場，是技術(shù)的主流，技術(shù)成熟度較高，但國內(nèi)一直無法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理”為基礎(chǔ)的層流質(zhì)量流量計(jì)，其  中核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高，制造工藝復(fù)雜，讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計(jì)的國際頂級廠商也望而卻步。幾十年來，全球范圍內(nèi)唯一取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國公司，但離實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)應(yīng)用還有不小的距離。 

獨(dú)立自主：攻克核心，成就中國第一

      毫不夸張地說，一個國家微流體測控水平的高低，決定著一個國家高端制造業(yè)水平的高低。小微流量測控領(lǐng)域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范圍超過9個數(shù)量級，這相當(dāng)于一秒內(nèi)流過流量計(jì)的體積從一滴水的三百分之一到一桶石油之間都能實(shí)現(xiàn)精確測量，而完成每一次精確測量的時間要小于0.01s，并保證連續(xù)兩次測量的相對誤差小于千分之一，技術(shù)難度可想而知。

     易度團(tuán)隊(duì)歷時七年苦心孤詣的研究，從2013年第一款層流傳感器原理驗(yàn)證機(jī)的誕生，到2014年第一代控制板原理驗(yàn)證機(jī)的研發(fā)，2015年底第一臺層流質(zhì)量流量計(jì)工程樣機(jī)的研發(fā)成功，一直到2017年6月，第一代層流質(zhì)量流量計(jì)的問世，并順利通過了國家計(jì)量院的型式評價認(rèn)證。這其中沒有現(xiàn)成的經(jīng)驗(yàn)可以借鑒，所有的工作都要從零開始，一遍一遍地設(shè)計(jì)，一次一次地試驗(yàn)，失敗了，重新開始，不完美，重新改進(jìn)，研發(fā)過程是痛苦的，但值得驕傲的是，易度團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持了下來，啃下了一個個硬骨頭，并掌握了這項(xiàng)核心技術(shù)，成就了今天的產(chǎn)品。

      目前該項(xiàng)技術(shù)已獲國家發(fā)明專利兩項(xiàng)，同時在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內(nèi)，也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術(shù)，產(chǎn)品經(jīng)過國家最高權(quán)威機(jī)構(gòu)的驗(yàn)證，達(dá)到了世界頂尖水平。

永無止境：高效專注增添中國力量

      易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計(jì)和控制器，不僅能實(shí)現(xiàn)對氣體和液體質(zhì)量流量的測量，還能達(dá)到精準(zhǔn)控制，是國內(nèi)第一款自主研發(fā)的層流原理數(shù)字化產(chǎn)品。經(jīng)過無數(shù)次技術(shù)改進(jìn)，產(chǎn)品正在日趨成熟，實(shí)現(xiàn)了在-20℃到70℃環(huán)境下的正常使用，精度控制在1.0級以內(nèi)，重復(fù)性0.1%，響應(yīng)時間達(dá)到0.01S。

      聚焦用戶過程控制，半導(dǎo)體300多項(xiàng)關(guān)鍵工藝中，有光刻工藝、氣相沉積工藝、單晶生產(chǎn)工藝等超過70%的工藝項(xiàng)點(diǎn)都與微流量測量相關(guān)；石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過程中，最常用的方法增強(qiáng)等離子的化學(xué)氣相沉積，也需要精準(zhǔn)地配給氣體和液體；等離子體發(fā)動機(jī)作為未來航天發(fā)展方向，在生產(chǎn)制造工藝和地面測試環(huán)節(jié)，需要精確測量小于1ml/min的稀有氣體的質(zhì)量流量，這是等離子體發(fā)動機(jī)穩(wěn)定工作的關(guān)鍵測試工藝。

      近五年全球微流量測量領(lǐng)域業(yè)務(wù)每年以30%的速度迅猛增長，隨著以芯片制造、生物醫(yī)藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興高端制造業(yè)的迅猛發(fā)展，更加精細(xì)化的制造工藝對微流量測量控制儀器提出了更加苛刻的要求，在當(dāng)前國家大力發(fā)展高端制造業(yè)的背景下，易度儀器有責(zé)任也有信心繼續(xù)精鉆技術(shù)，專注流體測控領(lǐng)域，解決微流量測控世界難題。