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產(chǎn)品實(shí)用知識

2025-11

05

氣體質(zhì)量流量計(jì)測量不同的氣體會怎么樣?

        某客戶有一臺工質(zhì)為氮?dú)獾臒崾搅髁坑?jì),把易度層流壓差式流量計(jì)工質(zhì)設(shè)置為氮?dú)?,兩個流量計(jì)串在一起進(jìn)行比對。通入氮?dú)鈺r,兩個流量計(jì)讀數(shù)一致。但在通入氦氣時,發(fā)現(xiàn)兩個流量計(jì)讀數(shù)相差很大??蛻粲X得至少有一個流量計(jì)是有問題的,事實(shí)果真如此嗎?


        我們不妨來計(jì)算一下氮?dú)饬髁坑?jì)通入氦氣時的顯示流量值。為了便于計(jì)算,假如串聯(lián)的兩臺流量計(jì)前端有一臺精確的氦氣流量控制器,控制氦氣流量為100SLPM。


        


        先看熱式流量計(jì),通入了不同的氣體時必須使用轉(zhuǎn)換系數(shù),查詢某廠商某型號熱式流量計(jì)從氮?dú)獾胶獾霓D(zhuǎn)換系數(shù)約為1.4(不同品牌型號的熱式流量計(jì)轉(zhuǎn)換系數(shù)也不同),因此這臺熱式流量計(jì)的當(dāng)前讀數(shù)應(yīng)該是100÷1.4=71SLPM。


        再看層流壓差式流量計(jì),它通過氣體黏度來區(qū)分不同類型的氣體,根據(jù)哈根·泊肅葉定律,流量計(jì)算值與黏度成反比,此時通入氦氣但使用了氮?dú)獾酿ざ戎祬⑴c計(jì)算,查詢得知氦氣與氮?dú)獾酿ざ缺燃s為1.11,因此這臺層流壓差式流量計(jì)的當(dāng)前讀數(shù)應(yīng)該是100÷1.11=90SLPM。


        可以看到這兩臺流量計(jì)雖然都是氮?dú)饬髁坑?jì),雖然都是通入了100SLPM氦氣,但是數(shù)值上卻有很大的區(qū)別!這主要是由于測量原理不同造成的。


        從上面的計(jì)算過程可以看出,如果要精確測量流量,流量計(jì)的工質(zhì)應(yīng)當(dāng)與實(shí)際氣體類型一致。當(dāng)然如果是使用易度層流壓差式流量計(jì)就可以很輕松地切換工質(zhì),實(shí)現(xiàn)一臺流量計(jì)精確測量多種氣體的目的。

        

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