用戶問題:使用MFC時(shí)反應(yīng)有超調(diào)過沖現(xiàn)象

        剛通氣時(shí)流量會(huì)瞬間達(dá)到可測(cè)量的最大值并顯示告警信息，然后又迅速穩(wěn)定到設(shè)定值，客戶覺得易度MFC有很嚴(yán)重的超調(diào)過沖問題。 經(jīng)過與客戶詳細(xì)交流后發(fā)現(xiàn)，客戶先將MFC設(shè)定流量，再開啟截止閥給管路通氣。MFC在使用過程中到底應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量呢？

        常見MFC連接方式

        工作原理

        MFC通過流量測(cè)量部分測(cè)量氣體流量，并根據(jù)測(cè)量值發(fā)出反饋信號(hào)調(diào)節(jié)閥門開口大小，達(dá)到控制流量的目的。當(dāng)測(cè)量的流量小于設(shè)定流量時(shí)，就會(huì)增加閥門開口度，讓氣體流量增加，反之亦然。

        MFC工作示意簡圖

        了解了MFC工作原理，再來看客戶遇到的問題就容易理解了

        在不通氣的情況下,將MFC設(shè)定流量后，流量傳感器檢測(cè)流量為零，小于設(shè)定值，于是微處理器發(fā)出信號(hào)將閥門開大，再檢測(cè)流量，發(fā)現(xiàn)流量仍然是零，仍然小于設(shè)定值。微處理器只能繼續(xù)發(fā)出控制信號(hào)直到將閥門開到最大并保持這個(gè)狀態(tài)。

        這時(shí)打開截止閥，氣體瞬間開始流動(dòng)起來，而此時(shí)閥門開到了最大，氣體就會(huì)以一個(gè)很大的流量值流過MFC。MFC檢測(cè)到流量超過了設(shè)定值，于是控制閥門開口度減小，將實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值。這就是先設(shè)流量再通氣時(shí)MFC的實(shí)際工作過程。

        答案結(jié)論

        這并不是MFC本身的問題，而是在使用MFC時(shí)的操作順序問題。正確的操作順序是先通氣，再設(shè)流量。