2025-11
05質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器常用術(shù)語有哪些，它們各代表什么含義？
體積流量：也叫工況流量，即單位時(shí)間內(nèi)實(shí)時(shí)溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。
標(biāo)況流量：通過溫度、壓力補(bǔ)償后得到的體積流量。標(biāo)況一般定義（1）壓力：1個(gè)大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可
自選。易度流量控制器默認(rèn)(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM 。
質(zhì)量流量：單位時(shí)間內(nèi)流體流過管道橫截面的質(zhì)量 。易度質(zhì)量流量控制器測(cè)量出的是標(biāo)況流量，需要計(jì)算氣體實(shí)際質(zhì)量時(shí)，可用密度乘以標(biāo)況流量即可得出。
瞬時(shí)流量：當(dāng)時(shí)間很短時(shí)，流體流過一定截面的量稱為瞬時(shí)流量。
累計(jì)流量：氣體通過某一截面的瞬時(shí)流量在一定時(shí)間內(nèi)的累積值。
設(shè)定流量：質(zhì)量流量控制器專用術(shù)語，MFC通過控制比例調(diào)節(jié)閥的開度使得流體流量穩(wěn)定在某一固定流量值，設(shè)定流量一般為標(biāo)況流量。
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